高温区容积:0.01m3、0.02m3、0.03m3、0.05m3、 0.1m3、 0.15m3、0.2m3 、0.3m3炉内工作气氛:真空、氢气、氮气、惰性气体等
采用密闭内循环纯水冷却系统;数字式流量监控系统,每一路水由流量计监控保护
采用中科院研发、生产的高的性能气体净化机,可将气体氧含量降至1PPMV,露温度可降至-70℃。