净化车间要进行消毒灭菌,可采用干热灭菌、湿热灭菌、辐射灭菌、气体灭菌、消毒剂消毒。
10级这个级别的净化车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
1000级这个级别的净化车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。