由于传感器受到结构特性的影响，机械系统的惯性较大，因有频率低的传感器可测信号的频率较低，在动态测量中，应根据信号的特点(稳态、瞬态、随机等)响应特性，以免产生过火的误差。
振动位移传感器可对进入其测量范围内的金属物体的运动参数进行非接触测量，用于机械中的振动和位移、转子与机壳的热膨胀量的长期监测；生产线的在线自动检测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和微小运动的测量等。
压电式传感器是利用弹簧质量系统原理，敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。