超精密清洗包括精密工业生产过程中对机械零件、电子元件，光学部件等的超精密清洗，以清除极微小污垢颗粒为目的。
依靠化学反应的作用，利用化学药品或其它溶剂清除物体表面污垢的方法叫化学清洗。如用各种无机或有机酸去除物体表面的锈迹、水垢，用氧化剂去除物体表面的斑，用杀菌剂。
根据清洗方法的不同，也可以分为化学清洗和物理清洗
