封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。
正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？原因：过热，负载大。解决措施：检查冷却系，检查系统。
变频器电源，转速上升过程中就自动关机,即显示“Po“。答：原因电压低。