分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准，是多少?答:小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要***仪器和特定的测试环境。
真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道?原因：油池***或密封不良。解决方法：检查油池。
