封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。
分子泵必须在分子流状态下工作，在分子流范围内，气体分子的平均自l由程长度远大于分子泵叶片之间的间距，而气体分子的平均自a由程长度会随着容器压力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大气，反而无法显示出它的***性。
分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?原因：冷却不良，负载太大。解决方法：检查冷却系统，检查真空系统。