分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?原因:附近有光照或其他热源。解决方法:避免光照或热源。
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?原因:防护网***,前级管道***。解决方法:优化系统设计
封式旋片泵(即油泵)极限真空能到达10-3mbar,但油泵容易产生返油倒吸的问题,如果没有控制返流的安全阀,或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染,从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物,影响使用;并且油泵操作温度较高,如果散热效果较差,会直接影响客户的测试结果;另外还需要定时换油,总体来说维护成本高,能耗大。