封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是好的方式？答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?原因：防护网***，前级管道***。解决方法:优化系统设计