将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置，调节干涉镜与反射镜之间的相对位置，使反射回来的两束光线完全重合，调节3角架使重合后的反射光线进入回光孔，保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节激光头上的俯仰和扭摆旋钮，***微调。
沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，分别进行直线度测量，从而测量其垂直度。通常，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。
检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强大位置。）