高频电源感应加热的主要优点是：①不必整体加热，工件变形小，电能消耗小。②无公害。③加热速度快，工件表面氧化脱碳较轻。④表面淬硬层可根据需要进行调整，易于控制。⑤加热设备可以安装在机械加工生产线上，易于实现机械化和自动化，便于管理，且可减少运输，节约人力，提高生产效率。⑥淬硬层马氏体组织较细，硬度、强度、韧性都较高。
高频电源控制的特点：调幅高频电源采用SCR和IGBT斩波调幅两种，特别斩波调幅整个过程电效率的和功率因素较高。这是对复杂工况使用与调频控制和脉冲控制模式有别之处。
日常中高频电源感应加热热处理也有一些缺点。与火焰淬火相比，感应加热设备较复杂，而且适应性较差，对某些形状复杂的工件难以保证质量。