将基体对金刚石镶嵌的机械把持作用,连接优化为镶嵌/钎焊复合连接,提高了金刚石出刃高度和锋利度,采用新型钎焊材料与技术国家重点实验室研发的预合金粉末制备的刀头切割花岗岩时,切割速度可提高1.5~2倍,锯片寿命延长1.2~1.6倍。
采取新的金刚石镀层和新的镀层工艺以及在结合剂中添加微量金属元素两者相结合的新思路来解决上述问题。在结合剂调整的基础上,针对不同镀层材料和新的工艺方法的试验研究。经反复筛选试验,发现Ti、W、(W+Co)等金属均能与金刚石形成强碳化物。
划片用切割片:在晶体加工后半制程中,待晶圆背面减薄后,贴膜,然后使用高精密超薄金刚石切割片进行划片加工。切割片可以是有轮毂或无轮毂,制作方法有电镀、真空钎焊和冷压烧结几种。