特种气体氟气用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六1氟化铀、六氟化硫、三氟1化硼和金属氟化物等。
特种气体是气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医1药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。
特种气体在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程。
