强酸强碱废气关键来自于外扩散、CVD、CMP及离子注入等工序，这种工序应用强酸强碱清洁液对芯片开展清理。现阶段，在半导体设备加工工艺中应用更为广泛的清理为和盐酸的混和剂。这种工序中造成的废气包括盐酸、盐酸、硫酸、及硫酸铵等的蒸发气，碱性气体为二氧化氮。广州华蓝环保科技有限公司主要从事：环境影响评价、突发环境事件应急预案、环境风险评估、节能评估、vocs一企一方案、清洁生产审核、环保竣工验收和水保验收咨询、废气治理工程、废水治理工程、环保成套设备销售、安装与调试、代办环保综合验收及国家排污等，提供解决方案和专业服务。
因为半导体材料加工工艺对操作间洁净度规定极高，一般应用离心风机提取加工工艺过程中蒸发的各种废气，因而半导体芯片废气排污具备排量大、排污浓度值小的特性。这种废气排污关键能够分成四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有害气体。广州华蓝环保科技有限公司主要从事：环境影响评价、突发环境事件应急预案、环境风险评估、节能评估、vocs一企一方案、清洁生产审核、环保竣工验收和水保验收咨询、废气治理工程、废水治理工程、环保成套设备销售、安装与调试、代办环保综合验收及国家排污等，提供解决方案和专业服务。
有机废气关键来自光刻技术、显影液、离子注入及外扩散等工序，在这种工序时要用有机化学水溶液(如等保)对芯片表层开展清理，其蒸发造成的废气是有机废气的来源于之一:在光刻技术、离子注入等过程中应用的光阻剂(光刻技术)中带有容易挥发的溶剂，如醋酸丁酯等，在芯片解决过程中也要蒸发到空气中，是VOCs废气造成的又一来源；广州华蓝环保科技有限公司主要从事：环境影响评价、突发环境事件应急预案、环境风险评估、节能评估、vocs一企一方案、清洁生产审核、环保竣工验收和水保验收咨询、废气治理工程、废水治理工程、环保成套设备销售、安装与调试、代办环保综合验收及国家排污等，提供解决方案和专业服务。