相同规格的PSA装置的投资规模要比深冷空分装置低20%~50%。深冷空分制氮装置宜于大规模工业制氮,而中、小规模制氮就显得不经济。
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我觉得现在的这些高纯氮气都有着许许多多的优点,就比如液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。