真空淬火实际上就是一道淬火工艺，只是区别于传统的零件在加热过内程中与空气或盐浴等介质接容触，从而出现氧化现象和较大的形变现象，真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火的优势。
真空淬火是防止工件表面氧化，盐浴淬火工件表面有氧化。盐浴加热炉是通过电极将硝盐加热到预定温度（高温能达到1200摄氏度）。真空炉一般都是箱式。盐浴冷却就是所说等温淬火。将硝盐加热到材料所需要的温度
真空淬火的特点是在真空状态下加热，然后快速冷却的。在标准的真空炉上，只能够真空退火或真空回火，如果淬火的话，就会氧化。所以真空淬火需要用专用的真空淬火炉