在化学工业上,氮的化合物非常重要,是炸药、氮肥、染料与硝酸工业的主角.
高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。
有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程,但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机,取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。