压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件,它是基于压阻效应工作的,所谓压阻元件实际上就是指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻。
压阻式压力传感器压阻芯片采用周边固定的硅杯结构,封装在外壳内,在一块圆形的单晶硅膜片上,布置四个扩散电阻,两片位于受压应力区,另外两片位于受拉应力区,它们组成一个全桥测量电路。
目前在模腔中使用的压力传感器有两种类型,即平装型和间接型,平装型传感器是通过在模腔后面钻一个安装孔而插入模腔的,它的顶部与模腔的表面平齐,其电缆则从模具中穿过而与位于模具外表面的监测系统接口相连接。