高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。
氧气厂里的氧气是怎么弄出来的 分离液态空气得来的. 根据氧气和氮气沸点不同可分离出氧气： 首先,将空气除尘净化,除去二氧化碳和水蒸汽. 然后,在低温下加压,使空气液化.
高纯氧气用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。
