平面激光干涉仪调光步骤及技巧是什么？

将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮，拆除一、二号光靶，调节激光头上下、左右位置，将激光对准三号光靶，调好近、远端。

放置直线度反射镜，检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。

去除斜率过程中，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率去除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。