去除化合物（有毒或有色物质的氧化转化，降低综合参数（DOC或COD），消毒或去除颗粒物）整个处理流程（单纯化学工艺，化学/生物和化学/生物/物理的组合工艺）。
臭氧能将水中不易降解的大分子有机物氯化分解为小分子有机物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，为后续处理（特别是生物处理）提供了更好的条件。
臭氧发生器在水处理的优点：1）.臭氧是优良的氧化剂，可以杀灭抗氯性强的病毒和芽孢;2）.臭氧消毒受污水PH值及温度影响较小;3).臭氧可以去除污水中的色、嗅、味和酚氯等污染物，增加水中的溶解氧，改善水质;4).臭氧可以分解难生物降解的有机物和三致物质，提高污水的可生化性;5).臭氧在水中易分解，不会因残留造成二次污染。