氦气密度比空气小,能够一直悬浮于空中。2、相比于活泼易烧燃的氢气,氦气属于惰性气体,常温下稳定,几乎不与任何物体发生化学反应,保证安全。3、制备成本较低。
氦气无毒,第二氦气不会燃烧,比氢气安全,现在经常会有一些关于氢气爆的报道,虽然氦气成本会高一些,但是安全更重要。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。