氦气无毒，第二氦气不会燃烧，比氢气安全，现在经常会有一些关于氢气爆的报道，虽然氦气成本会高一些，但是安全更重要。
高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。
四氟化碳是一种卤代烃，化学式CF4。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。零下198 C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73 。