蚀刻剂有许多种类，早是使用三氯化铁的水溶液为蚀刻液，随着工业发展，三氯化铁逐渐被淘汰代之以氯化铜、过硫酸盐、过氧化氢-硫酸、氨碱以及其他蚀刻液相继开发并投入使用，其中尤以氯化铜蚀刻液得到广泛应用。
三氯化铁蚀刻废液的组成及常规处理技术1.废液成分： 废三氯化铁蚀刻液是一种酸性液体，主要含有氯化铜、氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁和盐酸，其中铜含量在50g/L左右。三氯化铁蚀刻液仅在少数特殊工件的加工中采用。2.回收技术： 目前从三氯化铁蚀刻废液中回收铜的方法很多，其中置换法具有投资少、回收率高、成本低、方法简单、操作方便和见效快等特点。
目前腐蚀铝有两个配方：一是用氯化铁与硫酸铜的水溶液。二是氢氧化钠水溶液。这两个配方，一是酸液一是碱液，对环境都有污染，但比较而言，碱对空气的污染要小一些，处理与再利用也优于酸液。碱液蚀刻铝的成本也大大低于酸液，是未来发展的方向。在铝牌蚀刻利用碱液工艺中，目前一个难以解决的问题是掩膜问题。因为目前市售的所有防腐油墨都为耐酸不耐碱性。