位移传感器使用一段时间后，其性能保持不变化的能力称为稳定性。影响位移传感器长期稳定性的因素除位移传感器本身结构外，主要是位移传感器的使用环境。因此，要使位移传感器具有良好的稳定性，位移传感器必须要有较强的环境适应能力。
精度是传位移感器的一个重要的性能指标，它是关系到整个测量系统测量精度的一个重要环节。位移传感器的精度越高，其价格越昂贵，因此位移传感器的精度只要满足整个测量系统的精度要求就可以，不必选得过高。
位移传感器的频率响应特性决定了被测量的频率范围，必须在允许频率范围内保持不失真的测量条件，实际上位移传感器的响应总有—定延迟，希望延迟时间越短越好。