高纯甲烷：甲烷纯度99.999%,氧（氩）含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。 纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.99%,,氧（氩）含量10ppm,氮含量35ppm,氢含量10ppm,水分含量15ppm。 纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.9%,,氧（氩）含量50ppm,氮含量250ppm,氢含量50ppm,水分含量50ppm。
高纯氦气是单原子稀有气体分子，是一种无色、无味、无毒的不焚烧的储存于气瓶中的高压气体，常温下为气态的惰性气体。压力一般有15MPa，气体密度0.1786g/L（0C、1atm），液态密度0.1250kg/・（沸点）。
液氨是强腐蚀性有毒持。在运输、使用、试验过程中的有关人中，必须严格按GB536-88标准的有关规定执行。