显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程,但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机,取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。