我们厂是选择用的河南科晶化工超纯氮气,他们家的气体纯度蛮不错的,供应也很及时。
有专门卖高纯氮气的,一些工厂就使用的有。在钢瓶罐里。可以在当地的工业厂看看。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。