荧光光谱(1) 用荧光Ｘ射线法算出单位面积的质量（目标元素的附着量：g/m2）非实际质量。不能检出镀层里空隙的存在。用附着量除以目标元素的密度（g/cm3）换算成厚度（mm）。实际镀层密度不同的话，会产生误差。 (2)测厚度可选用无标样的薄膜 FP 法，也可选用标准曲线法，标准曲线法需要样品，其标称值好覆盖产品规格的上下限。 (3)测试厚度主要有两种方法：发射法和吸收法，前者测镀层元素的强度，后者测基体元素的强度。
荧光光谱(1)仪器本身并不需经常维护，可以间隔适当时间对过滤网进行清洁。 (2)如有仪器机械故障，应联系供应商维修，不可私自拆开装置，以免弄巧成拙。
荧光光谱(1) 取各种标准样品来测试（例如铜合金、铝合金、PVC、PE 样品等），每种样品用相对应的方法来测试（例如铜合金就用金属 FP 法来测试），计算与标准值之间差距。 每个样品测试 3－5 次，取均值，然后对比所用的仪器的允许误差就可以知道是否合格。文件上的误差范围只是一个参考，可以自己选择一个对本公司的误差范围作为仪器的标准误差允许范围。 (2) 针对 EDXRF 目前有《半导体探测器 X 射线能谱仪通则》《金属覆盖层覆盖层厚度测量 X 射线光谱方法》等相关，另每个公司和机构内部都有自己一套的标样测试重复性和稳定性要求。ESI英飞思 仪器标准，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 时相对误差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 时相对误差不得大于 30% 。