X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。
X荧光光谱仪(1)应明确理解，荧光分析存在干扰的元素有很多，每一种需要测试的元素都会受到其它某些元素的影响。 如铅分析过程中常出现干扰，分析过程中常出现锗和铼干扰。 (2) 常见干扰[经验] Cd:Br/Pb/Sn/Sb Pb:Br/As Hg:Br/Pb/Fe/Ca Cr:Cl Br:/Fe/Pb (3) 同时使用两条以上的特征线进行测分析。例如 Pb，需要选取 PbLa 和 PbLb 这两条谱线进行测试和判断。
X荧光光谱仪 (2) 测量镀层厚度,为求准确好购买标片建档. 如果需要管控 PCB 中有害物质，可以粉碎后混测，也可购买有面扫描功能的仪器，扫描后再确定哪个点可能有问题,后再准确定量。