真空渗碳淬火实际上就是一道淬火工艺，只是区别于传统的零件在加热过内程中与空气或盐浴等介质接容触，从而出现氧化现象和较大的形变，真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火的优势。
真空渗碳淬火，是指实现零件的光洁淬火。零件的淬火冷却在真空炉内进行，淬火介质主要是气(如惰性气体)、水和真空淬火油等。真空淬火已大量应用于各种渗碳钢、合金工具钢、高速钢和不锈钢的淬火，以及各种时效合金、硬磁合金的固溶处理。
真空渗碳淬火一般指在真空气氛中加热，在真空环境中冷却的一种淬火方法。