要提高金刚石圆锯片的效率和寿命,就必须增加结合剂对金刚石的包镶能力,提高金刚石的平均出刃值。为此,我们采用新的金刚石表面镀层及添加稀土元素和其他合金元素制备的结合剂等新技术,同时配合对金刚石参数选用等方法来解决包镶能力问题。
金刚石内圆切片:内圆切片仍然是当前切割单晶硅和其他脆性材料的主要工具。加工晶圆大直径≤5200mm,刀片厚度0.3mm。该工具及内圆切片机,国内生产厂家颇多。但产品不能满足硅晶片向大直径发展的要求,且加工质量不佳,效率低,必将被淘汰。
将基体对金刚石镶嵌的机械把持作用,连接优化为镶嵌/钎焊复合连接,提高了金刚石出刃高度和锋利度,采用新型钎焊材料与技术国家重点实验室研发的预合金粉末制备的刀头切割花岗岩时,切割速度可提高1.5~2倍,锯片寿命延长1.2~1.6倍。