热处理真空淬火真空中的淬火有气淬和液淬两种。气淬即将工件在真空加热后向冷却室中充以高纯度中性气体（如氮）进行冷却。适用于气淬的有高速钢和高碳高铬钢等马氏体临界冷却速度较低的材料。液淬是将工件在加热室中加热后，移至冷却室中充入高纯氮气并立即送入淬火油槽，快速冷却。如果需要高的表面质量，工件真空淬火和固溶热处理后的回火和沉淀硬化仍应在真空炉中进行。
热处理真空淬火实际上就是一道淬火工艺，只是区别于传统的零件在加热过内程中与空气或盐浴等介质接容触，从而出现氧化现象和较大的形变，真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火的优势。
热处理真空淬火是钢热处理工艺中运用为普遍的技术人员加工工艺方式。不锈钢板热处理工艺大概有退火、淬火、真空淬火和回火四种基础加工工艺。退火、淬火、真空淬火、回火是整体热处理中的“四把火”，在这里在其中的真空淬火与回火密切相关，经常相互配合应用，缺一不可。