金刚石线锯目前常用的线锯切片技术有磨料和固结磨料两类。到目前为止真正用于硅晶体的线锯切片技术只有往复式磨料线锯。往复式磨料线锯切片技术的基本原理是利用一根金属锯丝,直径150-300Lm,通过一定的缠绕方式,缠绕在两个线轴上,形成相互平行的网状加工部分,可以实现多片切割。
由于金刚石切割线的行业特征,金刚石切割线的原材料成本在营业成本中占比较大,金刚石切割线的原材料采购需要占用大量资金,对新进入金刚石切割线的企业进一步构成资金壁垒。
金刚石线锯加工研究与实际应用表明往复式磨料线锯切片技术在加工大尺寸硅片方面与内圆切片技术相比具有较大优势,可切割大尺寸硅晶体,可同时进行多片切割,出品率高,切片表面质量较高,很少产生崩片现象等。由于锯切作用基于锯丝、磨料及硅晶体之间的三体磨粒磨损原理,磨粒必然作用于锯丝,从而降低了锯丝的使用寿命。