金刚石线锯加工过程中,两个线轴分别完成放线和收线操作。锯丝往复运转,硅晶体垂直于锯丝进给,通过一定的施加方式将带有磨料(金刚石或碳化硅)的浆液(研磨液)施加到切割区域。通过锯丝、磨料及硅晶体之间的三体磨损,实现材料的锯切加工。
国外有人利用电镀金刚石线锯对硅晶棒、陶瓷等材料进行了切片实验,效果很好。研究结论表明固结磨料线锯切片技术可用于大尺寸硅晶体切片,且切片质量较高。但目前该技术仅限于实验研究,未见其有产业化的报道。
往复式固结磨料线锯:把金刚石磨料固结在锯丝上,配合与磨料线锯类似的机床,就形成了往复式固结磨料线锯。往复式固结磨料线锯切割不仅具有磨料线锯切片所有的优点,基于固结在锯丝上的磨料与工件材料之间的二体磨损原理,磨粒不会作用于锯丝,提高了使用寿命。