光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。
光谱仪(1) 工作曲线法就是利用标准样品先建立一条标准的校正曲线，测试时再根据这个曲线计算测量结果。用已知浓度的几个标准样品测强度,得到一系列相应的强度信号 ,强度和浓度对应形成一系列的点,通过软件拟合成一条标准曲线，测试样品时,仪器测试到一个信号强度,对应这条曲线,可以知道对应的浓度. (2)标准工作曲线法相对 FP 法来说确度较高，但是由于仪器本身存在背景强度，导致低于背景强度的样品出现负值，标准品及强度漂移影响曲线的度、曲线的检出限及曲线上限问题。
光谱仪(1)荧光元素分析受限于标样难以制备或试样的均匀性，多数只能做为一种品质的管控方法，准确度相对化学分析较低。 (2)素分析中的检量线法就是以标准物质为基础进行标准曲线分析，如果实际样品和标准物质不一致，那么分析结果肯定也不会很准确，只能做参考。 (3)用基本参数法测试金属时，果测试样品里含有 C、H、O 等轻元素，会出现误差，因为仪器无法识别这些元素。