脉冲激光CCD光束测试仪PC屏幕显示在两个方向上获得的扫描以及重建的光束轮廓。扫描系统的空间分辨率可高达几微米，甚至接近单微米（特别是扫描或狭缝），适用于小直径光束的表征。扫描概念的一个重要优点是所使用的光电探测器不需要具有空间分辨率，因此可以轻松使用用于非常不同波长区域的探测器。
脉冲激光CCD光束测试仪使用硅传感器，像素尺寸远低于10μm是可能的，允许测量低至50μm的光束直径。InGaAs探测器具有更大的像素，宽度例如为30μm，而热释电阵列不会远低于100μm。低空间分辨率的结果是光束尺寸必须保持较大，这也会导致瑞利长度较长。
脉冲激光CCD光束测试仪在任何情况下，一些结构化的机械部件（通常固定在旋转部件上）通过光束快速移动，同时用光电探测器和一些电子设备记录传输的功率。计算机（PC或内置微处理器）用于根据测量数据重建光束轮廓并将其显示在屏幕上。例如，为了获得光束的一维强度分布，传输功率与刀刃位置的关系可以本质上是微分的，而移动狭缝直接提供强度分布。光束测试仪。