热处理真空淬火是先抽真空（一般真空度是十的负二到负三次方托）没有空气，采用的是光亮淬火油，淬火的工件表面与淬火前无很大差别，一般用做热处理。
热处理真空淬火实际上就是一道淬火工艺，只是区别于传统的零件在加热过内程中与空气或盐浴等介质接容触，从而出现氧化现象和较大的形变，真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火的优势。
热处理真空淬火的特点是在真空状态下加热，然后快速冷却的。在标准的真空炉上，只能够真空退火或真空回火，如果淬火的话，就会氧化。所以真空淬火需要用的真空淬火炉