高纯氧气厂用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和一些气体混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧，它比其他燃料更便宜。
1、夏季运输应有遮阳设施, 避免曝晒。 2、高纯氧气厂气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记 。 3、有专人负责管理, 验收核实, 登记发放做到有帐可查。
特别是注意“下次试压时间“。并在使用过程中按照要求定期对气瓶作技术检验。不得使用超过应检期限的气瓶，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，高纯氧气厂以保证气体质量和使用安全。