X射线荧光光谱元素分析仪(1) 取各种标准样品来测试（例如铜合金、铝合金、PVC、PE 样品等），每种样品用相对应的方法来测试（例如铜合金就用金属 FP 法来测试），计算与标准值之间差距。 每个样品测试 3－5 次，取均值，然后对比所用的仪器的允许误差就可以知道是否合格。文件上的误差范围只是一个参考，可以自己选择一个对本公司的误差范围作为仪器的标准误差允许范围。 (2) 针对 EDXRF 目前有《半导体探测器 X 射线能谱仪通则》《金属覆盖层覆盖层厚度测量 X 射线光谱方法》等相关，另每个公司和机构内部都有自己一套的标样测试重复性和稳定性要求。ESI英飞思 仪器标准，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 时相对误差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 时相对误差不得大于 30% 。
X射线荧光光谱元素分析仪(1) 不同的 X 射线管所发生的 X 射线能量分布是不一样的。荧光 X 射线的激发效率取决 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射线能量。。 (2) 在阳极上，根据目的不同，有钨、钼、铑、铬、铜等种类。本公司在 SFT（荧光 X射线膜厚仪）中使用的是钨、钼，在 SEA（荧光 X 射线分析仪）中使用的是铑、钼（SEA5000）。钨靶适用于 Sn 和 Ag 等的发生高能量荧光 X 射线的元素，是一种可以适用于原子序号22（Ti）以上元素的灯。钼靶适用于 Au（特别是极薄）等的元素测定，因为 L 线可以用于激发，所以在 Al 等的轻元素测定中。铑靶适用于进行元素分析时。从特性角度来讲，与钼靶类似，但是在进行 Zr 等的测定时，可以说双钼靶的元素分析所适应的范围更广。因为铑靶不能用于 Pd 的测定，所以在 SEA5000 中，钼靶为标配品。
X射线荧光光谱元素分析仪(1) 荧光的照射面积跟测量出来的强度有关系。分辨率与分光晶体、准直器、探测器等 有关系。照射面积可以通过准直器来切换。