荧光光谱仪(1) 不同的 X 射线管所发生的 X 射线能量分布是不一样的。荧光 X 射线的激发效率取决 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射线能量。。 (2) 在阳极上，根据目的不同，有钨、钼、铑、铬、铜等种类。本公司在 SFT（荧光 X射线膜厚仪）中使用的是钨、钼，在 SEA（荧光 X 射线分析仪）中使用的是铑、钼（SEA5000）。钨靶适用于 Sn 和 Ag 等的发生高能量荧光 X 射线的元素，是一种可以适用于原子序号22（Ti）以上元素的灯。钼靶适用于 Au（特别是极薄）等的元素测定，因为 L 线可以用于激发，所以在 Al 等的轻元素测定中。铑靶适用于进行元素分析时。从特性角度来讲，与钼靶类似，但是在进行 Zr 等的测定时，可以说双钼靶的元素分析所适应的范围更广。因为铑靶不能用于 Pd 的测定，所以在 SEA5000 中，钼靶为标配品。
荧光光谱仪(1) 不同样品的抽真空时间是不一样的，有的较短，有的较长，如氧化铝样品就需要较长的时间来抽真空，可能和样品表面吸附的水份有关。除了样品外，还应该检查一下系统是否漏气，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是烧结的样品，抽的时间也比较长.表明多孔的结构，比较容易吸附空气或水分.所以抽真空时间长。
荧光光谱仪(2) 分辨率是检测器的问题.对于 ESI英飞思 的仪器而言,照射面积增大,效果比较好一点,比如说 可调光斑面积的 X 射线系统,1MM 光斑的测试效果比 5MM 的测试效果差很多。 (3) 照射面积的大小直接影响测试结果的准确性，在所有测试条件不变的情况下，测试面积越大，测试的强度越高，和分辨率没有关系，直接影响分辨率的只有狭缝（准直器）、晶体和探测器。