所以，测量速度非常快，可达毫秒级。目前，照明用的较好的CCD转换器为2048位，计算可得高波长精度为0.2nm。各方面总体来说，目前精度还比不上光电倍增管式光谱仪。CCD的缺点有：①基底噪声较大；②暗电流与温度关系密切，需冷却，每降低5～7℃，暗流就减小一半，应用的CCD常用液氮制冷，使其温度低于-110℃；半导体制冷一般为-10℃至-20℃，难以达到很高水平；③ CCD器件各个像素的量子效率不一致，会造成各波长光功率大小测量误差，这比上面提到的光电倍增管光阴极表面各点灵敏度不均匀的影响要严重。
阵列式CCD光谱仪内部的工作原理与光电倍增管式不同的地方是，阵列式CCD光谱仪由光栅把被测灯的复色光分解为按波长大小顺序排列的光谱光功率信号，并一次性同时投射到可区分光谱波长的CCD阵列上，这种一次成像接收并获得各波长光谱光功率信号的方式替代了需要扫描依次把单色光输入到光电倍增管中来“分时段”接收各波长光谱光功率信号。并由此不再需要光栅扫描的机械转动装置。
①灵敏度因强光照射或因照射时间过长而降低，停止照射后会部分地恢复，这种现象称为“疲乏”。我们在对一台使用了多年光电倍增管式光谱仪对同一白炽灯连续重复测量90 分钟试验中，其光通量不断单向下降达3%，但色温变化很小在5K 内(0.2%)；②光阴极表面各点灵敏度不均匀；③在实际测量中施加的电压太高会产生噪声。