微型压力传感器是专门为流体力学实验要求非常小的安装尺寸而设计的,它利用硅–硅键合MEMS微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小,固有响应频率高,弹性力学特性优良,***,对流场影响小。
表压传感器、差压传感器和绝压传感器广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑等众多行业。
压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器,压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量,如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度的测量和控制。