涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更***。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)气体输送能力强；(4)适于超高真空应用；(5)高压力下性能良好；6)循环的时间短；(7)正常使用时间长
当然，任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故