光谱仪分析X 射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为 0.001‐ 10nm 左右。X 射线照射到 物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种 X 射线。荧光 X 射线、散射 X 射线、透过 X 射线，ESI英飞思NT 产品使用的是通过对一种荧光 X 射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光 X 射线法原理。物质受到 X 射线的照射时，发生元素所固有的 X 射线（固有 X 射线或者特征 X 射线）。荧光 X 射线装置就是通过对该 X 射线的检测而获取元素信息。
光谱仪分析X 射线荧光分析仪的优点： (1)采样方式灵敏，如 ESI英飞思 SEA 系列配有较大检测室 ，多数试样可直接进行检测。可以减少取样带来的损耗，对于已压铸好的机械零件可以做到无损检测，而不毁坏样品。 (2)测试速率高，可以在较少时间内进行大量样品测试，分析结果可以通过计算机直接连网输出。 (3)分析速度较快。 (4)对于纯金属可采用无标样分析，精度能达分析要求。 (5)不需要实验室与操作人员，不引入其它对环境有害的物质。 X 射线荧光分析仪的缺点： (1) 关于非金属和界于金属和非金属之间的元素很难做到检测。在用基本参数法测试时，如果测试样品里含有 C、H、O 等元素，会出现误差。 (2)不能作为仲裁分析方法，检测结果不能作为根据，不能区分元素价态。 (3)对于钢铁等含有非金属元素的合金，需要代表性样品进行标准曲线绘制，分析结果的是建立在标样化学分析的基础上。 (4)标准曲线模型需求不时更新，在仪器发生变化或标准样品发生变化时，标准曲线模型也要变化。
光谱仪分析(1) 能散和波散的区别应该先从 X 射线性质说起：X 射线作为电磁波的一种具有明显的波、粒二项性。波具有波长、频率，还有反射、折射、衍射等性质，粒子具有质量、速度、动能、势能等性质。以此两个不同物理性质研发的研究波长的 X 荧光光谱仪叫波长散射型荧光光谱仪，研究能量的 X 荧光光谱仪叫能量散射型荧光光谱仪。 (2)波长色散X射线荧光光谱像原子的发射\吸收光谱仪一样,是需要单独的色散光学系统分辨不同的特征 X 射线激发的二次荧光光谱,然后才由辐射检测器(比如正比计数器\半导体检测器等)检出;而能量色散型 X 射线荧光光谱仪不象前者需要单独色散系统,它的二次荧光光谱色散及检出都是由辐射检测器根据其不同的能量值将其检出并放在计算机或者单片机内。