Edwards真空分子泵因为分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，因此分子泵的排气管时间比低温泵长。 为了保证抽速，海外在分子泵的入口测装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称作低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，别的汽体则由分子泵吸走。
Edwards真空分子泵方案 1、解决膜片胶痕，超声清洗膜片密封性和进排气管轴承端盖 2、更换损坏的密封垫片 3、清理分子泵油腔并更换油棉，导油棒和密封环。
Edwards真空分子泵广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。