排除方法：1.低于150摄氏度长时间烘烤去气2.冷却水温应低于14摄氏度，运转中保证冷却系统正常工作
原因：1.泵体没彻*烘烤除气2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高
分子泵使用过程出现超高真空抽气系统中的氢分压突然升高现象，原因和解决办法
