Edwards真空分子泵我接触过的分子泵冷却循环水进出口内部结构管路其实只是一个循环,进口的跟出口是能够互换的。而且还是循环排热的管道一部分没有在分子泵内部结构,是通过导热膏跟泵壳接触。
Edwards真空分子泵是依靠很多叶片转动,将动能发送给气体分子,是气体分子得到动能,来达到抽真空实际效果。只能在高真空下才可以正常运转,正常启动必须真空度做到5Pa下列
Edwards真空分子泵突然断电,分子涡轮泵会因无法排热,进而很有可能毁坏分子涡轮泵的。没问题的,镀膜线上的分子泵,每10分钟左右就需要加快减速一次,并且应用的是可怕的电机翻转减速