磁悬浮分子泵它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵
磁悬浮分子泵具体可分为:1)牵引分子泵 2)涡轮分子泵 3)复合分子泵
日本岛津磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵