分子泵在半导体设备中的应用在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到较佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。
安捷伦分子泵的质量和制造标准确保了DS旋片泵对轻质气体具有稳定的高抽速，同时还具有低噪声，返油量少以及使用寿命长的特点
